混同しやすい遠紫外線と深紫外線の違いについて、ここでは纏めることとする。
紫外線とは
紫外線とは波長が10nm~400nmの不可視光線の電磁波である。
紫外線(しがいせん、英: ultraviolet)は、波長が10 – 400 nm、即ち可視光線より短く軟X線より長い不可視光線の電磁波である。
Wikipedia引用
遠紫外線とは
日本分光学会遠紫外分光部会 第3回講演会資料によると、紫外領域の短波長側 120nm~200nmを遠紫外線と位置付けている。
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深紫外線とは
同、日本分光学会遠紫外分光部会 第3回講演会資料によると、紫外領域の波長200nm~300nmを深紫外線と位置付けている。
また、¹年間特集「光」:総合論文「遠紫外分光の新しい応用」においても緒言のなかで遠紫外(Far-ultraviolet,FUV,ここでは120~200nmの領域とする)と深紫外(Deep-ultraviolet,DUV,ここでは200~300nmの領域とする)と定義されている。
¹田邉一郎, 後藤剛喜, 森澤勇介, 尾崎幸洋 – 分析化学, 2017 – jstage.jst.go.jp
補足)UV-C波とUV-B波
紫外線は紫外線A波、B波、C波とも分類される。遠紫外線、深紫外線との重なりについて補足する。
遠紫外線 120~200nm
UV-C波 200~280nm ⇔ 深紫外線 200~300nm
UV-B波 280~315nm
UV-A波 315~380nm
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